气体品种纯度等级杂质含量(PPM)氩气99.999%N2≤4 H2≤0.5 O2≤1.5 H2O≤3 CO+CO2+CH4≤1>99.9995%O2≤1 H2O≤2 THC≤0.5 N2≤2 H2≤0.599.999%O2≤1 CO2≤1 N2≤5 CH4≤1 CO≤3 H2O≤1氦气99.999%H2≤0.5 O2+Ar≤2 N2≤5 CO2≤0.5 CH4≤0.5 Ne≤0.5 H2O≤3 CO≤0.599.995%Ne≤0.5 CO≤1.0 H2≤3 CO2≤1.0 O2+Ar≤3 CH4≤1.0 N2≤10 H2O≤1099.999%O2≤3 H2O≤3 CH4≤0.5 H2≤1 CO+CO2≤1氧气99.999%Ar≤2 N2≤5 H2O≤2 CO+CO2+CH4≤1 H2≤0.599.995%H2O≤3 CO+CO2+CH4≤3 Ar≤10 N2≤20 H2≤0.199.9%H2≤10 O2≤100 N2≤500 THC≤5 99.995%O2≤10 H2O≤5 N2≤20 CO≤1 HC≤1099.999%O2≤1 H2O≤2 N2≤5 CO≤1 HC≤1氖气99.999%He≤6 CO≤0.05H2≤1CO2≤0.5 O2+Ar≤1 CH4≤1N2≤2 氪气>99.999%CO2≤0.4 O2≤0.5 CO≤0.3 He≤3 H2≤0.5 CH4≤0.3 H2O≤2 N2≤2 Ar≤0.5 Xe≤2 C2F6≤0.1 CF4≤0.1 SF6≤0.1气>99.999%CO2≤0.5 O2≤0.5 CO≤0.3 He≤3 H2≤0.5 H2O≤2 Ar≤0.5 Kr≤0.5 C2F6≤0.1 CF4≤0.1 总炔≤0.1 SF6≤0.1 N2≤2.5 >99.9%N2+O2≤300 H2O≤3.0 CF4≤300>99.99%N2+O2≤50 H2O≤10 CO2≤30 THC≤10 执行质量标准 : 国家标准 ; 含量 : 99.999(%) ; 原产地/生产商 : 南京特种气体厂有限公司 ; 产品等级 : 分析纯 ; 状态 : 气体 ;